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方阻測試儀的結構及原理
  • 釋出日期☁◕₪│▩:2014-10-14      瀏覽次數☁◕₪│▩:1304
    • 1.KDY1A行動式電阻率測試儀是用來測量矽晶塊◕│·☁│、晶片的電阻率及擴散層◕│·☁│、外延層◕│·☁│、ITO導電箔膜◕│·☁│、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器│•│₪。

         本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規定設計│•│₪。

         它主要由電器測量部份(主機)及四探針頭組成·▩,需要時可加配測試架│•│₪。

         為減小體積·▩,本儀器用同一塊數字表測量電流及電阻率│•│₪。樣品測試電流由高精度的恆流源提供·▩,隨時可進行校準·▩,以確保電阻率測量的準確度│•│₪。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產品檢測│•│₪。對1~100Ω·cm標準樣片的測量誤差不超過±3%·▩,在此範圍內達到國家標準一級機的水平│•│₪。

       

      2◕│·☁│、測試儀結構及原理

      測試儀主機由主機板◕│·☁│、前面板◕│·☁│、後背板及機箱組成·▩,數字表◕│·☁│、測試電流換檔開關◕│·☁│、電阻率/方阻轉換開關◕│·☁│、校準/測量變換開關以及電流調節電位器均裝在前面板上│•│₪。後背板上只裝有電源插座◕│·☁│、電源開關◕│·☁│、保險管及四探針連線插座│•│₪。機箱底板上只裝了主機板│•│₪。前後面板與主機板之間的聯接均採用接外掛·▩,便於拆卸維修│•│₪。

      KDY1A型電阻率測試儀的基本原理是恆流源給探頭1.4探針提供穩定的測量電流I·▩,由2◕│·☁│、3探針測取被測樣品上的電位差V·▩,

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